磁懸浮分子泵廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)線、真空鍍膜生產(chǎn)線、高檔汽車后視鏡鍍膜生產(chǎn)線等領(lǐng)域，市場前景廣闊。不過，磁懸浮分子泵國產(chǎn)化及系列化一直是國內(nèi)無法解決的難題，主要是由于國內(nèi)磁懸浮軸承技術(shù)起步比較晚，在將磁軸承技術(shù)應(yīng)用到實(shí)際工業(yè)產(chǎn)品中還存在一系列難題。

該項(xiàng)成果填補(bǔ)了國內(nèi)空白，在磁懸浮分子泵領(lǐng)域打破國外的技術(shù)壟斷，提高了國內(nèi)真空分子泵的技術(shù)水平，同時(shí)也為磁軸承的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用開拓探索了一條技術(shù)開發(fā)路線。